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盛剑科技国产半导体制程隶属设备及要害零部件项目（一期）正式投产
类别：产品中心 来源：aoa彩票平台彩票 发布时间：2025-05-31 15:37:22 浏览：1
本报讯 （记者张文湘 见习记者占健宇）日前，上海盛剑科技股份有限公司（以下简称“盛剑科技”）国产半导体制程隶属设备及要害零部件项目（一期）投产典礼在上海嘉定工业区举办。
据悉，该项目规划出产的根本工艺废气处理设备、真空设备、温控设备，这一些产品一起作用于半导体制程设备的反响腔辅佐操控，可使反响腔满意刻蚀、离子注入、分散及薄膜堆积等工艺所需的环境条件，是半导体制程中不可或缺的重要组成部分。该项意图顺畅投产，是盛剑科技工业布局中的重要一环，逐渐提升了公司半导体制程隶属设备及要害零部件的出产才能、运维才能和工业竞争力。
自贸试验区作为我国对外开放的重要窗口[概况]
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